半導(dǎo)體純水系統(tǒng)技術(shù)應(yīng)用成為行業(yè)用水重中之重

時(shí)間：2022-10-17

　　半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)超純水系統(tǒng)的使用要求更高。

　　在半導(dǎo)體制作工藝中，50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入硅片，如帶入過(guò)量的雜質(zhì)，就會(huì)導(dǎo)致器件性能下降、影響產(chǎn)品性能。因此，制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術(shù)。

　　超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm，或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。

　　超純水處理是一般工藝很難達(dá)到的程度，萊特萊德采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、靶向離子交換系統(tǒng)以及后級(jí)處理四大步驟，獨(dú)有的靶向離子交換系統(tǒng)針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除，保證出水硼離子能夠穩(wěn)定≤5ppt。

　　半導(dǎo)體業(yè)由于技術(shù)發(fā)展迅速、市場(chǎng)變化大，其生產(chǎn)能力具有波動(dòng)性。所以，要求與之配套的半導(dǎo)體純水系統(tǒng)要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量，對(duì)超純水設(shè)備供水的靈活性，安全性，及時(shí)性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水系統(tǒng)投入運(yùn)行后，能夠生產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水，為半導(dǎo)體用水提供用水保障。

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